冷等离子体表面改性处理仪pcb抄板案例

　　技术参数 冷等离子体表面改性处理仪
　　一、仪器介绍
　　冷等离子体材料改性设备为垂直或横卧式的冷等离子体处理设备，其工作原理同ZYHD-1型原理相同，均是利用放电技术使气体电离产生等离子体，对材料表面进行改性处理，冷等离子体改性设备可供辉光放电等离子体接枝聚合等批量试验及间歇式自加工小批量织物或无纺布，同样在材料、化工、电子、印刷、纺织、制笔、医疗、生物技术等领域有广泛的应用。
　　二、仪器的构成
　　冷等离子体改性设备的主要配置为:
　　1.真空反应室。
　　2.真空系统及真空测量设备。
　　3.充气系统及气体流量测量设备。
　　4.放电系统和射频电源。
　　5.设备电路控制系统。
　　三、仪器的规格及技术参数
　　1、仪器的主要规格：
　　体　　积：长×宽×高为:53mm×56mm×175mm。 反 应 室: 直径:D500mm, 长度:500mm。 真空系统: 旋片式真空泵(2X－15型)。 真空测量: 热偶真空计(ZDO－2型)。 气体入口: 双通道转子流量计，量程为:0.04—0.4ML/min。
　　混 气 筒：35mm×35mm×120mm。
　　计时范围：0～99″99′。 RF射频电源: SY型, 13.56MHz, 0－1000W。
　　2、主要技术参数
　　真 空 度：≤5Pa。
　　射频电源：13.56MHz, 1000W。
　　工作真空度：15-80Pa。
　　四、仪器操作方法
　　1．关闭各气阀。
　　2．用高压橡胶管把气体瓶出口与设备气体入口连接起来。
　　3．夹紧橡胶管口夹圈。
　　4．打开灯丝开关橙色按钮，里面的指示灯亮，同时板压开关红色按钮里的指示灯也应该亮，预热5～10分钟。
　　5．将工件放入真空室后, 关闭真空室盖板。
　　6．启动两个真空泵按钮（绿色）。
　　7．按下热耦真空计开关, 测量真空度。同时观察真空计指针，真空度抽至所需值，慢慢旋开工作气体进气阀，进工作气体（氩气或氧气），注意观察真空计。
　　8．当工作气体气压稳定至所需值时，按下板压开关绿色按钮，里面的指示灯亮，缓缓调节板压，观察功率计，把功率调至真空室气体起辉，，然后反复调节匹配电容C1和C2，直至反射功率最小。（切忌反射功率太大，否则易损坏元器件）
　　9．在计时器上设定工作时间，按下计时器开关绿色按钮，计时器开始计
　　10．工作时间到，计时器报警。
　　11．逆时针调板压电位器旋钮到最低位置。按一下板压开关红色按钮关断板压，再按一下橙色按钮关断灯丝。（如果连续工作不必关闭灯丝按钮）
　　12．关闭工作气体进气阀。关闭真空泵。
　　13．打开真空放气阀，当真空室内处于大气压后，打开真空室盖。取出工件。关闭真空室盖。（如设备不再工作，必须抽真空到本底，保持真空室呈真空状态）

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